Nucleation site location its influence on the microstructure of solid-phase crystallized SiGe films

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 90

Nummer: 5

Seiten: 2544-2552

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1389075 GOOGLE SCHOLAR