Tantalum pentoxide obtained from TaNx and TaSi2 anodisation: An inexpensive and thermally stable high k dielectric
- Dueñas, S.
- Castán, E.
- Barbolla, J.
- Kola, R.R.
- Sullivan, P.A.
ISSN: 0038-1101
Año de publicación: 2001
Volumen: 45
Número: 8
Páginas: 1441-1450
Tipo: Artículo