Atomistic analysis of B clustering and mobility degradation in highly B-doped junctions

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. Ló pez, P.
  4. Bruno, E.
  5. Mirabella, S.
Zeitschrift:
International Journal of Numerical Modelling: Electronic Networks, Devices and Fields

ISSN: 0894-3370,  1099-1204

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 23

Nummer: 4-5

Seiten: 266-284

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/JNM.737 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor