Single-parameter model for the post-breakdown conduction characteristics of HoTiOx-based MIM capacitors

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Zeitschrift:
Microelectronics Reliability

ISSN: 0026-2714

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 54

Nummer: 9-10

Seiten: 1707-1711

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.MICROREL.2014.07.067 GOOGLE SCHOLAR