Atomic layer deposition and properties of HFO 2 -Al 2 O 3 nanolaminates

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Zeitschrift:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Datum der Publikation: 2018

Ausgabe: 7

Nummer: 9

Seiten: P501-P508

Art: Artikel

DOI: 10.1149/2.0261809JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor