Atomic layer deposition and performance of ZrO2-Al2O3 thin films

1. Kukli, K.
2. Kemell, M.
3. Castán, H.
4. Dueñas, S.
5. Seemen, H.
6. Rähn, M.
7. Link, J.
8. Stern, R.
9. Heikkilä, M.J.
10. Ritala, M.
11. Leskelä, M.