Atomic layer deposition and performance of ZrO2-Al2O3 thin films
- Kukli, K.
- Kemell, M.
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Seemen, H.
- Rähn, M.
- Link, J.
- Stern, R.
- Heikkilä, M.J.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
ISSN: 2162-8777, 2162-8769
Argitalpen urtea: 2018
Alea: 7
Zenbakia: 5
Orrialdeak: P287-P294
Mota: Artikulua