Hole trap distribution on 2 MeV electron irradiated high-k dielectrics

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

ISSN: 2166-2754,  2166-2746

Any de publicació: 2015

Volum: 33

Número: 3

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.4915617 GOOGLE SCHOLAR