Molecular dynamics simulation of the early stages of self-interstitial clustering in silicon

  1. Marqués, L.A.
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Zeitschrift:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 42

Seiten: 235-238

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MSSP.2015.07.020 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor