Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered Sc 2O3 films on silicon
- Castán, H.
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- Gómez, A.
- García, H.
- Bailón, L.
- Feijoo, P.C.
- Toledano-Luque, M.
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
- Lucía, M.L.
ISSN: 1938-5862, 1938-6737
ISBN: 9781566777919
Datum der Publikation: 2010
Ausgabe: 28
Nummer: 1
Seiten: 287-297
Art: Konferenz-Beitrag