Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered Sc 2O3 films on silicon
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Gómez, A.
- García, H.
- Bailón, L.
- Feijoo, P.C.
- Toledano-Luque, M.
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
- Lucía, M.L.
ISSN: 1938-5862, 1938-6737
ISBN: 9781566777919
Argitalpen urtea: 2010
Alea: 28
Zenbakia: 1
Orrialdeak: 287-297
Mota: Biltzar ekarpena