Irradiation effect on dielectric properties of hafnium and gadolinium oxide gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Barquero, R.
  7. Kukli, K.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Any de publicació: 2009

Volum: 27

Número: 1

Pàgines: 416-420

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.3021040 GOOGLE SCHOLAR