Irradiation effect on dielectric properties of hafnium and gadolinium oxide gate dielectrics

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Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 27

Nummer: 1

Seiten: 416-420

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.3021040 GOOGLE SCHOLAR