Irradiation effect on dielectric properties of hafnium and gadolinium oxide gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Barquero, R.
  7. Kukli, K.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN: 1071-1023

Ano de publicación: 2009

Volume: 27

Número: 1

Páxinas: 416-420

Tipo: Artigo

DOI: 10.1116/1.3021040 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable