Analysis of the crystallization kinetics and microstructure of polycrystalline SiGe films by optical techniques

  1. Olivares, J.
  2. Martín, P.
  3. Rodríguez, A.
  4. Sangrador, J.
  5. Martínez, O.
  6. Jiménez, J.
  7. Rodriguez, T.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 588

Seiten: 221-226

Art: Konferenz-Beitrag

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