Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon
- Pelaz, L.
- Marqús, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 2004
Ausgabe: 96
Nummer: 11
Seiten: 5947-5976
Art: Artikel
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics