Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon
- Pelaz, L.
- Marqús, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 2004
Volume: 96
Número: 11
Páxinas: 5947-5976
Tipo: Artigo
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 2004
Volume: 96
Número: 11
Páxinas: 5947-5976
Tipo: Artigo