Codiffusion of phosphorus and carbon in preamorphized ultrashallow junctions
- Ling, Y.T.
- Huang, M.J.
- Chang, R.D.
- Pelaz, L.
Zeitschrift:
Electrochemical and Solid-State Letters
ISSN: 1099-0062
Datum der Publikation: 2012
Ausgabe: 15
Nummer: 6
Art: Artikel