Codiffusion of phosphorus and carbon in preamorphized ultrashallow junctions
- Ling, Y.T.
- Huang, M.J.
- Chang, R.D.
- Pelaz, L.
Revista:
Electrochemical and Solid-State Letters
ISSN: 1099-0062
Ano de publicación: 2012
Volume: 15
Número: 6
Tipo: Artigo