Influence of growth and annealing temperatures on the electrical properties of Nb2O5-based MIM capacitors

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Perez, E.
  4. Dueñas, S.
  5. Bailón, L.
  6. Blanquart, T.
  7. Niinistö, J.
  8. Kukli, K.
  9. Ritala, M.
  10. Leskelä, M.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Any de publicació: 2013

Volum: 28

Número: 5

Tipus: Article

DOI: 10.1088/0268-1242/28/5/055005 GOOGLE SCHOLAR