Influence of growth and annealing temperatures on the electrical properties of Nb2O5-based MIM capacitors

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Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 28

Nummer: 5

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/28/5/055005 GOOGLE SCHOLAR