Atomic layer deposition and properties of ZrO2/Fe2O3 thin films
- Kalam, K.
- Seemen, H.
- Ritslaid, P.
- Rähn, M.
- Tamm, A.
- Kukli, K.
- Kasikov, A.
- Link, J.
- Stern, R.
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- García, H.
ISSN: 2190-4286
Datum der Publikation: 2018
Ausgabe: 9
Nummer: 1
Seiten: 119-128
Art: Artikel