Properties of atomic layer deposited nanolaminates of zirconium and cobalt oxides

  1. Seemen, H.
  2. Rähn, M.
  3. Kalam, K.
  4. Sajavaara, T.
  5. Dueñas, S.
  6. Castán, H.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Kukli, K.
  10. Tamm, A.
Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Any de publicació: 2018

Volum: 7

Número: 8

Pàgines: P402-P409

Tipus: Article

DOI: 10.1149/2.0191808JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor