Properties of atomic layer deposited nanolaminates of zirconium and cobalt oxides

  1. Seemen, H.
  2. Rähn, M.
  3. Kalam, K.
  4. Sajavaara, T.
  5. Dueñas, S.
  6. Castán, H.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Kukli, K.
  10. Tamm, A.
Aldizkaria:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Argitalpen urtea: 2018

Alea: 7

Zenbakia: 8

Orrialdeak: P402-P409

Mota: Artikulua

DOI: 10.1149/2.0191808JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor