Properties of atomic layer deposited nanolaminates of zirconium and cobalt oxides

  1. Seemen, H.
  2. Rähn, M.
  3. Kalam, K.
  4. Sajavaara, T.
  5. Dueñas, S.
  6. Castán, H.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Kukli, K.
  10. Tamm, A.
Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777,  2162-8769

Ano de publicación: 2018

Volume: 7

Número: 8

Páxinas: P402-P409

Tipo: Artigo

DOI: 10.1149/2.0191808JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor