Characterization of thick conducting molybdenum films: Enhanced conductivity via thermal annealing

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Zeitschrift:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 261

Seiten: 391-397

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2014.10.050 GOOGLE SCHOLAR