Characterization of thick conducting molybdenum films: Enhanced conductivity via thermal annealing
- Marcelli, A.
- Spataro, B.
- Sarti, S.
- Dolgashev, V.A.
- Tantawi, S.
- Yeremian, D.A.
- Higashi, Y.
- Parodi, R.
- Notargiacomo, A.
- Xu, J.
- Cappuccio, G.
- Gatti, G.
- Cibin, G.
Revista:
Surface and Coatings Technology
ISSN: 0257-8972
Año de publicación: 2015
Volumen: 261
Páginas: 391-397
Tipo: Artículo