Characterization of thick conducting molybdenum films: Enhanced conductivity via thermal annealing

  1. Marcelli, A.
  2. Spataro, B.
  3. Sarti, S.
  4. Dolgashev, V.A.
  5. Tantawi, S.
  6. Yeremian, D.A.
  7. Higashi, Y.
  8. Parodi, R.
  9. Notargiacomo, A.
  10. Xu, J.
  11. Cappuccio, G.
  12. Gatti, G.
  13. Cibin, G.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Ano de publicación: 2015

Volume: 261

Páxinas: 391-397

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2014.10.050 GOOGLE SCHOLAR