Electrical characterization of high-k based MIS capacitors using flat-band voltage transients

  1. García, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hatanpää, T.
  8. Aarik, J.
  9. Aidla, A.
  10. Ritala, M.
  11. Leskelä, M.
Konferenzberichte:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Datum der Publikation: 2009

Seiten: 223-226

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800471 GOOGLE SCHOLAR