Electrical characterization of high-k based MIS capacitors using flat-band voltage transients

  1. García, H.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. Gómez, A.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Hatanpää, T.
  8. Aarik, J.
  9. Aidla, A.
  10. Ritala, M.
  11. Leskelä, M.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Ano de publicación: 2009

Páxinas: 223-226

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800471 GOOGLE SCHOLAR