Conduction and stability of holmium titanium oxide thin films grown by atomic layer deposition
- Castán, H.
- García, H.
- Dueñas, S.
- Bailón, L.
- Miranda, E.
- Kukli, K.
- Kemell, M.
- Ritala, M.
- Leskelä, M.
Zeitschrift:
Thin Solid Films
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 2015
Ausgabe: 591
Seiten: 55-59
Art: Artikel