Conduction and stability of holmium titanium oxide thin films grown by atomic layer deposition

  1. Castán, H.
  2. García, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Miranda, E.
  6. Kukli, K.
  7. Kemell, M.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 2015

Alea: 591

Orrialdeak: 55-59

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.TSF.2015.08.027 GOOGLE SCHOLAR