Properties of atomic layer deposited nanolaminates of zirconium and cobalt oxides

  1. Seemen, H.
  2. Rähn, M.
  3. Kalam, K.
  4. Sajavaara, T.
  5. Dueñas, S.
  6. Castán, H.
  7. Link, J.
  8. Stern, R.
  9. Kukli, K.
  10. Tamm, A.
Revista:
ECS Journal of Solid State Science and Technology

ISSN: 2162-8777 2162-8769

Año de publicación: 2018

Volumen: 7

Número: 8

Páginas: P402-P409

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/2.0191808JSS GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor