Inhomogeneous HfO2layer growth at atomic layer deposition
- Kasikov, A.
- Tarre, A.
- Vinuesa, G.
ISSN: 1339-309X, 1335-3632
Any de publicació: 2023
Volum: 74
Número: 4
Pàgines: 246-255
Tipus: Article
ISSN: 1339-309X, 1335-3632
Any de publicació: 2023
Volum: 74
Número: 4
Pàgines: 246-255
Tipus: Article