Inhomogeneous HfO2layer growth at atomic layer deposition
- Kasikov, A.
- Tarre, A.
- Vinuesa, G.
ISSN: 1339-309X, 1335-3632
Ano de publicación: 2023
Volume: 74
Número: 4
Páxinas: 246-255
Tipo: Artigo
ISSN: 1339-309X, 1335-3632
Ano de publicación: 2023
Volume: 74
Número: 4
Páxinas: 246-255
Tipo: Artigo