Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Actes:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Any de publicació: 2009

Volum: 25

Número: 8 PART 2

Pàgines: 1031-1037

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR