Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Actes de conférence:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Année de publication: 2009

Volumen: 25

Número: 8 PART 2

Pages: 1031-1037

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR