Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Aktak:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 25

Zenbakia: 8 PART 2

Orrialdeak: 1031-1037

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR