Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Konferenzberichte:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 25

Nummer: 8 PART 2

Seiten: 1031-1037

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR