Strain evaluation in SiC MEMS test structures

  1. Bosi, M.
  2. Attolini, G.
  3. Watts, B.E.
  4. Frigeri, C.
  5. Rossi, F.
  6. Poggi, A.
  7. Roncaglia, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Martínez, O.
  10. Hortelano, V.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Ano de publicación: 2009

Volume: 25

Número: 8 PART 2

Páxinas: 1031-1037

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR