Strain evaluation in SiC MEMS test structures

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Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566777452

Año de publicación: 2009

Volumen: 25

Número: 8 PART 2

Páginas: 1031-1037

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/1.3207702 GOOGLE SCHOLAR